光刻机前身是啥机器啊
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01-01 561
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按照这个时间节点算,中国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年(美国是1978年)。 另据资料显示,45所在六五、八五、九五期间分别完成了1.5微米、0.8微米和0.5微米光刻机的研制任务。 ...
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