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⊙^⊙ MEMS陀螺仪利用科里奥利力来测量角速度,采用MEMS工艺实现。一般采用梳状电容来静电驱动质量块振动。角速度带来质量块向另一个方向的位移。电容用于检测位移来计算角速度。 MEMS陀螺仪MEMS陀螺仪的工作模式分为驱动模式和检测模式,两种模式的工作状态、稳定控制以及后续的信号处理都需要通过外围电路来实现。静电驱动是目前大多数MEMS陀螺仪的主要驱动模式。 驱动方式采用静电驱动。
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