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中国科学院上海光学精密机械研究所 |
上海光机所与宇量昇,北京宇琪光电联系方式
∪▽∪ 高附加值并非来自高端制造业,而是来自发达的服务业。 否则,美国的制造业增加值不可能占到11%,人均GDP不可能达到8万美元。 同样,在世界高收入国家中,几乎没有国家依赖三种路径进行高端制造:第一条是华为+上海光机所+宇良胜,这是正统的国家队,走500WLPP光源+复合镜头组的技术路线。 第二个办法是绕过现在光刻机的光源,采用广东智能机器研究院(广智所)+华中科技大学。他们正在尝试一种
ˋ^ˊ 现就职于:北京控制工程学院,工程师付武峰,2020级博士生/凝聚态物理(已毕业)现就职于:上海宇良盛科技有限公司,高级工程师郑泽,2020级博士生/光学(已毕业)现就职于:长春长光华达智制造上海宇联格胜科技股份有限公司成立于2022年7月29日,法定代表人刘军,注册资本100万元,统一社会信用代码91310115MABWJMB0XK, 注册地址:上海市浦东新区闽东路500号1号楼。 业务范围
目前国内从事EUV光源的主要有3家公司(他们都明确表示是用于光刻机的),一个是上海光机所和上海玉良盛。这是正统的国家队,所以什么信息都没有报道,唯一能知道的就是他们生产光刻机。 上海光机所与盛玉良合作开发和生产光刻机激光系统。 该激光系统由上海光机所与宇良盛联合研制,是1×千瓦/50khz超高重频二氧化碳激光器。
转:目前国内EUV光刻机研发路线有3条:1.正统路线,即ASML的EUV光刻机路线。 HW+上海光机所+玉良胜国家队,走500WLPP光源+复透镜组的技术路线。 目前进展最快、技术复杂度最高的是正统路线:这就是ASML的EUV光刻机路线,与华为、上海光机所、宇良盛等国内企业合作。 他们使用500瓦LPP(液体目标点光源)光源和复杂的镜头组件。 这条路线进度最快
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