光刻机多大,光刻机最小

光刻机体积有多大 2023-11-18 13:28 294 墨鱼

光刻机体积有多大

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超过一百立方米。据百度百科介绍，一台光刻机的体积非常大，大约有一百多立方米，和公共汽车差不多大小。光刻机又称为掩膜版对位曝光机，是制造芯片的核心设备。一台EUV光刻机每天消耗约30,000千瓦时的电力。如果关闭一台EUV光刻机，每天可以节省30,000千瓦时的电量。目前台湾工业电价约为新台币2.45元（约合人民币0.55元），这意味着每天可以节省人民币16,500元。

EUV光刻机重量可达180吨，而且非常大。而且光刻机对精度的要求极高，一个微小的误差就可能导致EUV光刻机的重量高达180吨，体积甚至更大。而且，光刻机对精度要求极高，微小的误差就可能造成巨大的损失。因此，安装和调试EUV通常需要一年以上的时间。

虽然国产28nm光刻机与已经可用的5nm顶级工艺存在较大差距，但普通射频芯片、蓝牙芯片、功放芯片、路由器芯片以及各种电器驱动芯片等非核心逻辑芯片仍然采用28~90nm工艺。事实上，它的精度很高。我们常用的手机、电脑等小型设备中的芯片现在已经进入了7纳米级别，而这些7纳米芯片是由荷兰或日本的高精度光刻机生产的。其他国家要么不能生产光刻机，要么

ˋ＾ˊ 其体积通常超过20平方米，重量从数百公斤到数吨不等。 2、应用领域光刻机广泛应用于半导体制造、显示面板制造、MEMS器件制造、LED制造等领域。据微电子媒体报道，荷兰ASM公司的新一代极紫外光刻机为BIGASABUS。机器内部有多达100,000个零件，整个设备需要两公里长的电缆。如果你想发货，一个新模型

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